Phosphorsäure kann aus Rohphosphat (meistens Apatit, Ca5(PO4)3X mit X = F, OH oder Cl) und Schwefelsäure, Salzsäure oder Salpetersäure hergestellt werden. Als Nebenprodukte fallen dabei CaSO4 (Phosphorgips, verunreinigter Gips) und H2[SiF6] (Hexafluorokieselsäure) an. Es wird Wasser zugegeben und der Gips wird durch Filtration zusammen mit anderen unlöslichen Materialien entfernt. Fluorid als Hexafluoridokieselsäure wird in einer weiteren Stufe durch Verdampfung entfernt.
Obwohl die Reaktion in Stufen mit Calciumdihydrogenphosphat abläuft, kann die Gesamtreaktion wie folgt dargestellt werden:
Es gibt jedoch Nebenreaktionen, zum Beispiel mit Calciumfluorid und Calciumcarbonat im Gestein:
Fluorkieselsäure ist ein wichtiges Nebenprodukt bei der Herstellung von Fluorwasserstoff. Es kann mit Natriumhydroxid neutralisiert werden, um Natriumhexafluorsilicat zu bilden. Die Säure wird auch zur Herstellung von Aluminiumfluorid verwendet, das wiederum zur Herstellung von Aluminium verwendet wird.
Alternativ lässt sich Phosphorsäure durch Verbrennung elementaren Phosphors zu Phosphorpentoxid, P4O10, und anschließende Hydrolyse herstellen (sogenannte thermische Phosphorsäure). Ein hochreines Produkt erhält man durch Konzentrieren einer handelsüblichen Phosphorsäurelösung auf einen Gehalt von über 90 Prozent und anschließende Kristallisation in einem genau eingehaltenen Temperaturbereich.
Die Rohstoffe für diesen Prozess sind Phosphor und Sauerstoff:
Zunächst wird Phosphor in den Ofen gesprüht und bei über 1500 °C an der Luft verbrannt. Bei den meisten Prozessen wird ungetrocknete Luft verwendet, und viele erfordern die Zugabe von Dampf zum Phosphorbrenner, um einen Film aus kondensierten Polyphosphorsäuren zu erzeugen und aufrechtzuerhalten, der den Brennerturm aus rostfreiem Stahl schützt. Die Produkte aus dem Brennerturm gelangen direkt in einen Hydratationsturm, in dem das gasförmige Phosphoroxid in recycelter Phosphorsäure absorbiert wird:
Alternativ kann der Phosphor in getrockneter Luft verbrannt werden. Das Phosphorpentoxid wird als weißes Pulver kondensiert und getrennt zu Phosphorsäure hydratisiert. Diese Methode ermöglicht die Rückgewinnung und Wiederverwendung von Wärme.
Durch Urban Mining lässt sich Phosphorsäure aus dem Klärschlamm zurückgewinnen.