Vegetarismus leitet sich wie „Vegetarier“, über englisch vegetarian, und englisch vegetable von lateinisch vegetare „beleben, gesund erhalten, leben, grünen“ ab.
Die Wörter „Vegetarismus“ und „Vegetarier“ sind seit Ende des 19. Jahrhunderts bezeugte, heute allgemein gebräuchliche gekürzte Formen der zuvor üblichen Bezeichnungen „Vegetarianismus“ und „Vegetarianer“. Letztere sind Übersetzungen der englischen Wörter vegetarianism und vegetarian. Das englische Wort vegetarian ist eine moderne Wortschöpfung aus vegetable („pflanzlich“, „Gemüse“) und -arian („eine Überzeugung haben“). Ausgangspunkt ist das lateinische vegetare („körperlich und geistig beleben“), welches sich wiederum auf vegetus („belebt, rüstig“) und vegere („munter sein“, „leben“, „lebensfroh sein“) bezieht.
Die Wortbildung vegetarian wird vom Oxford English Dictionary auf „Mitte 19. Jahrhundert“ datiert. Allgemein gebräuchlich wurde vegetarian erst durch die Gründung der englischen Vegetarian Society im Jahr 1847. Hiermit beschrieben die Gründungsmitglieder der Gesellschaft Individuen, die weder Fleisch noch Geflügel oder Fisch essen. Bis dahin war meist von einer pflanzlichen Diät (vegetable regimen, vegetable system of diet) die Rede. Seltener sprach man von einer „pythagoreischen Diät“, da die Anhänger des antiken griechischen Philosophen Pythagoras Vegetarier waren.